半導体製造工程の
ガラス窓（ビューポート）越し測定に関する
困りごとを解決します！

駿河精機のレーザオートコリメータ「Smart LAC」は、半導体製造工程のガラス窓（ビューポート）越し測定に関するお客様のお困りごとを解決し、非接触でウエハ挙動のリアルタイム把握を実現します。
詳細にご興味がある方はぜひダウンロードしてご覧ください。