お役立ちコラム

本記事では、半導体製造装置におけるプロセス中のウエハ反り測定の難しさと、ガラス窓（ビューポート）越しでのレーザオートコリメータ活用によるウエハ反り測定・モニタリング方法について解説いたします。
CVDやPVDなどの成膜装置、アニール装置では、プロセスの進行とともにウエハの反りが変化します。しかし、チャンバー内部は真空・高温などの環境となるため、センサを内部に設置してプロセス中のウエハ反りを測定することは容易ではありません。
そこで活用できるのが、ガラス窓（ビューポート）越しに装置外部から測定する方法です。
本記事では、半導体製造装置におけるプロセス中のウエハ反り測定の課題と、レーザオートコリメータを活用してビューポート越しにウエハ反りを測定・モニタリングする方法について解説します。

【この記事でわかること】
・プロセス中のウエハ反り測定が難しい理由
・ガラス窓（ビューポート）越しにウエハ反りを測定する際の課題
・レーザオートコリメータを活用したウエハ反り測定・モニタリングの方法

コリメート光とは、レーザ光がほぼ平行に進む状態を指し、レーザ加工や光学測定、半導体製造など、高精度な位置決めや測定が求められる場面で利用されています。
コリメート光を生成するには、コリメートレンズなどを用いた精密な光軸調整が必要です。その際、レーザ光がどの程度広がっているかを示す「ビーム広がり角」を測定・数値化することで、調整状態を客観的に評価できます。
一方で、近年はレーザの多様化や要求精度の向上により、従来の経験や勘に頼った調整だけでは対応が難しくなっています。

この記事でわかること
• コリメート光とビーム広がりの関係
• ビーム広がり角の測定方法
• 測定方法ごとの特徴と違い
• 効率的にコリメート光を測定する方法