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最新コラム
角度測定器「オートコリメータ」の
長所・短所とは？高精度測定のメリットと
注意点を解説
オートコリメータ
基礎知識
オートコリメータは、平行光（コリメート光）を利用して角度を高精度に測定できる測定器です。非接触かつ高速に測定できるため、工作機械・半導体・光学部品などの精密測定で広く使用されています。
一方で、測定対象物の反射特性や使用する光源の波長によっては、測定条件に制約が生じる場合もあります。特に乱反射する表面や透明ガラスなどでは注意が必要です。
そのため、オートコリメータを選定する際は、
・測定対象物の材質
・必要な測定精度
・レーザ波長
・ビーム径
を考慮した機種選定が重要になります。
本記事では、オートコリメータの仕組みから、導入メリット・短所・注意点までをわかりやすく解説します。
一方で、測定対象物の反射特性や使用する光源の波長によっては、測定条件に制約が生じる場合もあります。特に乱反射する表面や透明ガラスなどでは注意が必要です。
そのため、オートコリメータを選定する際は、
・測定対象物の材質
・必要な測定精度
・レーザ波長
・ビーム径
を考慮した機種選定が重要になります。
本記事では、オートコリメータの仕組みから、導入メリット・短所・注意点までをわかりやすく解説します。
半導体製造工程におけるウエハ反り測定とは？発生原因とレーザオートコリメータの
活用方法
オートコリメータ
基礎知識
本記事では半導体製造工程でよく聞く「ウエハの反りとは何か？」「ウエハが反る原因」駿河精機のレーザオートコリメータを使用した「ウエハ反り測定」について解説いたします。
近年の半導体製造において、デバイスの高性能化に伴うウエハの薄化や大口径化、さらにはSiC（炭化ケイ素）やGaN（窒化ガリウム）といった新材料の採用が加速しています。これに伴い、製造工程で生じる「ウエハの反り（Warpage）」は、露光プロセスのフォーカスずれや搬送トラブル、最終的な歩留まり低下を引き起こす深刻なボトルネックとなっています。今、製造現場では「いかに速く、正確に反りを評価するか」が問われています。
近年の半導体製造において、デバイスの高性能化に伴うウエハの薄化や大口径化、さらにはSiC（炭化ケイ素）やGaN（窒化ガリウム）といった新材料の採用が加速しています。これに伴い、製造工程で生じる「ウエハの反り（Warpage）」は、露光プロセスのフォーカスずれや搬送トラブル、最終的な歩留まり低下を引き起こす深刻なボトルネックとなっています。今、製造現場では「いかに速く、正確に反りを評価するか」が問われています。
オートコリメータ
基礎知識
レーザオートコリメータの波長選定とは？
赤・青・緑・赤外レーザの違いを解説
光軸調整
測定方法
レーザ光の光軸調整とは？
測定器の入れ替えを減らして工程を簡略化する方法を解説
オートコリメータ
測定方法
ダイ浮き・接合不良減少！
高精度な平行度インライン測定の実現
基礎知識
測定方法
レーザ測定器の繰り返し再現性とは？
悪化する原因と改善方法を解説
変位計
測定方法
変位測定の難点：
傾き角度による誤差とその対策
オートコリメータ
変位計
測定方法
ラップ盤の上下平行度を測るには？
Smart LACを用いた測定方法を解説
基礎知識
変位計
測定方法
精密測定と測定器の温度特性についての考察
光軸調整
測定方法
ビーム広がりとは？
コリメート光を簡単に計測する方法を解説
光軸調整
基礎知識
光軸調整ってなに？
その検査工程のボトルネックとは？
基礎知識
変位計
変位計などのセンサに使用される
通信規格とは？最適なものの選び方も解説
変位計
測定方法
変位計で振動を測定するには？
オートコリメータ
測定方法