お役立ちコラム

半導体製造におけるフォトレジスト塗布工程では、スピンコータの回転精度がレジストの膜厚均一性やパターン形成品質を大きく左右します。近年、デバイスの微細化と高集積化が進む中、わずかな回転ブレや軸振れであっても、レジスト膜厚不均一や工程変動の要因となり、歩留まり低下につながるリスクが高まります。しかし、回転ブレは高速回転中には目視で確認することが難しく、その定量的な評価と原因究明は容易ではありません。
本記事では、フォトレジスト塗布工程で回転ブレが発生する原因や膜厚不均一への影響、レーザオートコリメータを活用して回転ステージの動的な傾きを測定・定量評価する方法について解説します。

製造工程や検査工程では、設備や搬送装置、回転体などで発生する微細な振動が、加工精度や製品品質に影響を及ぼすことがあります。しかし、目視では振動の大きさや変化を定量的に把握することは難しく、作業者の経験や感覚に依存した評価になりがちです。
そこで活用されるのが、レーザ変位計による非接触測定です。対象物の変位を高速かつ高精度に連続測定することで、振動の大きさや周波数を数値として把握できます。
本記事では、レーザ変位計を用いて振動を測定する方法や、安定した測定を行うためのポイント、取得した変位データから振動の周波数を解析する方法について解説します。

【この記事でわかること】
・レーザ変位計で振動を測定する仕組み
・振動を安定して測定するためのポイント
・変位データから振動の周波数を求めるFFT解析の基礎
・振動測定に適したレーザ変位計の選び方