Smart LPS 3Dとは？
「Smart LPS 3D」は、変位と傾き・角度を同時に精密測定する光センサです。
ワークの変位と傾き・角度を測定する場合、それぞれ専用の計測器が必要になり、検査機の機構増大し、制御も複雑化します。さらに、検査ごとの計測時間も軽視できません。
しかし、駿河精機のSmart LPS 3Dなら、変位と傾き・角度を同時に測定できます。それにより、機構と制御を簡素化でき、計測時間も大幅に短縮できます。
変位角度測定センサ
「Smart LPS 3D」の特長
1台で変位と傾き・角度測定を高精度で実現可能
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低コストかつ高精度
- 高精度で変位と傾き角度を同時に単点測定できるから、装置の製造コストを下げることができる
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設置スペース削減
- 複数の変位計を使用する場合や、変位計とレーザオートコリメータを使用する場合、設置スペースが課題となるが、センサヘッド1台分のスペースで設置可能
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測定時間短縮
- ワーク駆動不要
- 変位と傾き・角度を瞬時に同時測定
- ワークが傾いていても角度補正機能により正確な変位測定が可能
変位角度測定センサ「Smart LPS 3D」導入メリット
導入することで、【変位と傾き・角度】を同時測定
高精度のセンサヘッドを別々に選定しなくて済みます
高精度のセンサヘッドを別々に選定しなくて済みます
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変位と傾き・角度を同時測定
変位計と角度計を別々に使用、もしくはワーク駆動で複数点を測定していた機構が不要になり、これ一台で完結します。 -
コスト削減
傾き・角度と変位をこれ一台で測定できるから装置製作の省スペース化やソフトウェア効率化、メンテナンス軽減につながります。 -
生産性向上
ワークの姿勢異常を高精度に測定できるから、検査品質の維持と測定時間の短縮を両立します。
製品の特長や解決できる課題が3分で分かる！
高性能・変位角度測定センサ
「Smart LPS 3D」
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Smart LPS 3Dの
スペック概要
W.D.：50mm
- 変位測定・W.D.：50 mm
- 変位測定・レンジ：±10 mm
- 変位測定・繰り返し再現性：0.2 um
- 内部光源波長：660 nm
- 角度測定・レンジ：±1.35度
- 角度測定・直線性：±0.25% of F.S.
- 角度測定・繰り返し再現性：1秒
- 製品サイズ：45×90×120 mm
実績・事例
半導体、電子デバイス、光通信業界を中心に数多くのお客様に弊社製品が採用されています。
フリップチップボンダやダイボンダの接合不良低減
バンプチップとパターンウエハの平行ずれが発生すると接合不良が発生し、歩留まりが低下するケースがあります。 Smart LAC＋対向ビーム分岐アダプタを使用し、リアルタイムに状態把握とアライメントをすることで、接合不良を低減できる事例です。
半導体
傾き角度測定
平行度測定
CVD、PVDなどの成膜装置やアニール装置のプロセス中のウエハ状態監視
プロセス中にウエハの挙動の監視が必要ですが、真空チャンバー内にセンサを配置することは困難であるため、ビューポート越しで測定する事例です。
半導体
傾き角度測定
ウエハ外観検査中の検査不良回避
検査時に撮像ポイントでウエハの反りや浮きがあると、カメラフォーカスが合わず画像がボケてしまい、検査不良となるケースがあります。 Smart LACでウエハの反りや浮きを測定し、カメラフォーカスを最適化できる事例です。
半導体
光軸調整