半導体製造工程の回転ブレに関する
困りごとを解決します！
レーザオートコリメータ Smart LAC

駿河精機のレーザオートコリメータ「Smart LAC」は、半導体製造工程の回転ブレに関する
お客様のお困りごとを解決し、回転ステージ・機構の軸の傾き測定を実現します。
詳細にご興味がある方はぜひダウンロードしてご覧ください。