コストパフォーマンスに優れた変位計をお探しの企業様へ

低コスト・高精度を同時に実現
レーザ変位計「Smart LPS 1D」

特長・概要が3分でわかる!
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レーザ変位計「Smart LPS 1D」が
解決します。

測定精度を維持したまま、低コストで導入可能

一般的に、測定精度と変位計装置のコストは相関関係にありますが、駿河精機のSmart LPS 1Dであれば、新開発の低収差受光光学系により業界最高水準の直線性を実現したことにより、低価格で高精度な変位計をご利用いただけます。
測定精度を維持したまま、低コストで導入可能

増設時のコストや設置スペースも不要

変位計のセンサヘッドが増加するたびにコントローラや増設ユニットが必要です。Smart LPS 1Dでは高速信号処理プロセッサをセンサヘッドに内蔵したことでコントローラ不要となり、増設時にコストや設置スペースが不要です。
増設時のコストや設置スペースも不要

反射率の異なる様々な測定物を測定できる

高ダイナミックレンジ、ノイズ除去、新規アルゴリズムの改善を行ったことで、多様な測定物への対応が可能になりました。

Smart LPS 1Dでは、黒ゴム、ウエハ、白セラミック、ミラーなど、低反射率から高反射率まで様々な測定物を簡単に測定できます。
反射光のうち最大5点迄の測定データを同時検出
レーザ変位計「Smart LPS 1D」

製品の特長や低コストの理由が3分で分かる!

レーザ変位計「Smart LPS 1D」

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「Smart LPS 1D」シリーズのスペック概要

W.D.:80mm ±15mm

W.D.:80mm ±15mm

  • W.D. 80mm ±15mm
  • 測定レンジ ±15mm
  • ビーム形状 丸(SA)/ 楕円(WA)
  • 直線性 ±6μm / ±16μm
  • 繰り返し再現性 0.13μm
  • 温度特性 0.01% of F.S./℃
  • 型式 H810-15R-080SA(丸形ビーム形状)
  • 型式 H810-15R-080WA(楕円型ビーム形状)
W.D.:150mm ±40mm

W.D.:150mm ±40mm

  • W.D. 150mm ±40mm
  • 測定レンジ ±40mm
  • ビーム形状 丸(SA)/ 楕円(WA)
  • 直線性 ±6μm / ±16μm
  • 繰り返し再現性 0.25μm
  • 温度特性 0.01% of F.S./℃
  • 型式 H810-40R-150SA(丸形ビーム形状)
  • 型式 H810-40R-150WA(楕円型ビーム形状)
W.D.:レーザ光が本体から射出されて、反射されるまでの距離
測定レンジ:W.D.を0として測定可能な凹凸の幅

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