精密さを求める部品の傾き・角度や変位測定に
駿河精機の光センサ
低コスト・省スペース・短時間にて
高精度な測定を実現します。
高精度な測定を実現します。
「光センサ」シリーズ一覧
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角度を測りたい
レーザオートコリメータ
Smart LAC- 非接触で傾き・角度を測定したい
- 作業距離によらず測定したい
- 多点の角度測定を一度にしたい
傾き・角度測定ならレーザオートコリメータSmart LAC 資料ダウンロード -
変位と角度を同時に測りたい
変位角度測定センサ
Smart LPS 3D- 変位と傾き角度を同時に測定したい
- ワークの姿勢確認を高速化したい
- ワークの傾き補正をしながら変位測定したい
変位と角度の同時測定Smart LPS 3D 資料ダウンロード -
変位を測りたい
レーザ変位計
Smart LPS 1D- 高精度で低価格、コスパの高い変位計を選定したい
- 省スペースと省配線化を同時に実現したい
- 使いやすくワーク対応力に優れた変位計測を構築したい
変位測定ならレーザ変位計Smart LPS 1D 資料ダウンロード -
光軸調整の作業効率化を図りたい
ビーム計測センサ
Smart ProCo H651- 光軸調整を一台で済ませたい
- ビームのプロファイルを数値管理したい
- 高精度にレーザ品質を自動判定したい
光軸調整を効率化Smart ProCo H651
資料ダウンロード
お客様のニーズにお応えします
装置製作のコスト削減のために
センサヘッドを選定したい
より高精度の計測がしたい
ワークの対応力を向上したい
作業の効率化を図りたい
実績・事例
半導体、電子デバイス、光通信業界を中心に数多くのお客様に弊社製品が採用されています。
フリップチップボンダやダイボンダの接合不良低減
バンプチップとパターンウエハの平行ずれが発生すると接合不良が発生し、歩留まりが低下するケースがあります。 Smart LAC＋対向ビーム分岐アダプタを使用し、リアルタイムに状態把握とアライメントをすることで、接合不良を低減できる事例です。
半導体
傾き角度測定
平行度測定
CVD、PVDなどの成膜装置やアニール装置のプロセス中のウエハ状態監視
プロセス中にウエハの挙動の監視が必要ですが、真空チャンバー内にセンサを配置することは困難であるため、ビューポート越しで測定する事例です。
半導体
傾き角度測定
ウエハ外観検査中の検査不良回避
検査時に撮像ポイントでウエハの反りや浮きがあると、カメラフォーカスが合わず画像がボケてしまい、検査不良となるケースがあります。 Smart LACでウエハの反りや浮きを測定し、カメラフォーカスを最適化できる事例です。
半導体
光軸調整