ウエハ外観検査中の検査不良回避

検査時に撮像ポイントでウエハの反りや浮きがあると、カメラフォーカスが合わず画像がボケてしまい、検査不良となるケースがあります。
Smart LACでウエハの反りや浮きを測定し、カメラフォーカスを最適化できる事例です。