お役立ち資料
製造業の課題解決やレーザオートコリメータに関する基礎知識など
実践に役立つノウハウ・事例資料などが無料でダウンロードできますので是非ご覧ください。
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半導体製造工程の回転ブレに関する
困りごとを解決します！
レーザオートコリメータ Smart LAC
駿河精機のレーザオートコリメータ「Smart LAC」は、半導体製造工程の回転ブレに関する
お客様のお困りごとを解決し、回転ステージ・機構の軸の傾き測定を実現します。
詳細にご興味がある方はぜひダウンロードしてご覧ください。
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半導体製造工程の
ガラス窓（ビューポート）越し測定に関する
困りごとを解決します！
駿河精機のレーザオートコリメータ「Smart LAC」は、半導体製造工程のガラス窓（ビューポート）越し測定に関するお客様のお困りごとを解決し、非接触でウエハ挙動のリアルタイム把握を実現します。
詳細にご興味がある方はぜひダウンロードしてご覧ください。
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光センサ選定ガイド
オートコリメータと変位計
どちらをどう選ぶか
非接触で「傾き」や「高さ」を測りたいものの、「オートコリメータと変位計、どちらを選べばよいのか分からない」と迷うことはありませんか？
本資料は、駿河精機のレーザオートコリメータ「Smart LAC」とレーザ変位計「Smart LPS 1D」について、測る対象による使い分けから、シリーズ・型式の決定までを3ステップで整理した選定ガイドです。
詳細にご興味がある方はぜひダウンロードしてご覧ください。
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