光軸調整に必要な５つの検査をこれ１台に集約ビーム計測センサ
「Smart ProCo」H651シリーズ
- 光軸調整とは？
- コリメート光を目標位置へ正確に照射させるための光学技術を指します。
従来、検査目的ごとに様々な測定機器を使い分け、非常に高度な熟練作業でした。
| 検査目的 | 使用検査器 |
|---|---|
| 角度測定 | オートコリメータ |
| 位置測定 | ピンホール |
| ビーム径測定 | プロファイラ |
| ダイバージェンス測定 | 波面センサで測定 |
| 強度分布 | 光パワーメータ |
- Smart ProCoとは？
- 今まで光軸検査ごとに入れ替えていた専用測定器をひとつにまとめた驚愕の光軸計測センサです。
「Smart ProCo」３つの特長
-
集約
専用測定機器高難度の器機の入れ替えや
微調整が不要になります -
省空間
両手ぐらいの大きさ外部コントローラ不要
装置の省スペース化にお役立ち -
工数削減・時短
無料の専用解析ソフトウェアデータ収集を一元化
煩雑な事後処理を一気に解決
製品の特長や解決できる課題が3分で分かる！
ビーム計測センサ「Smart ProCo」
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実績・事例
半導体、電子デバイス、光通信業界を中心に数多くのお客様に弊社製品が採用されています。
フリップチップボンダやダイボンダの接合不良低減
バンプチップとパターンウエハの平行ずれが発生すると接合不良が発生し、歩留まりが低下するケースがあります。 Smart LAC＋対向ビーム分岐アダプタを使用し、リアルタイムに状態把握とアライメントをすることで、接合不良を低減できる事例です。
半導体
傾き角度測定
平行度測定
CVD、PVDなどの成膜装置やアニール装置のプロセス中のウエハ状態監視
プロセス中にウエハの挙動の監視が必要ですが、真空チャンバー内にセンサを配置することは困難であるため、ビューポート越しで測定する事例です。
半導体
傾き角度測定
ウエハ外観検査中の検査不良回避
検査時に撮像ポイントでウエハの反りや浮きがあると、カメラフォーカスが合わず画像がボケてしまい、検査不良となるケースがあります。 Smart LACでウエハの反りや浮きを測定し、カメラフォーカスを最適化できる事例です。
半導体
光軸調整
