お役立ちコラム

オートコリメータは、平行光（コリメート光）を利用して角度を高精度に測定できる測定器です。非接触かつ高速に測定できるため、工作機械・半導体・光学部品などの精密測定で広く使用されています。



一方で、測定対象物の反射特性や使用する光源の波長によっては、測定条件に制約が生じる場合もあります。特に乱反射する表面や透明ガラスなどでは注意が必要です。

そのため、オートコリメータを選定する際は、

・測定対象物の材質

・必要な測定精度

・レーザ波長

・ビーム径

を考慮した機種選定が重要になります。



本記事では、オートコリメータの仕組みから、導入メリット・短所・注意点までをわかりやすく解説します。

本記事では半導体製造工程でよく聞く「ウエハの反りとは何か？」「ウエハが反る原因」駿河精機のレーザオートコリメータを使用した「ウエハ反り測定」について解説いたします。

近年の半導体製造において、デバイスの高性能化に伴うウエハの薄化や大口径化、さらにはSiC（炭化ケイ素）やGaN（窒化ガリウム）といった新材料の採用が加速しています。これに伴い、製造工程で生じる「ウエハの反り（Warpage）」は、露光プロセスのフォーカスずれや搬送トラブル、最終的な歩留まり低下を引き起こす深刻なボトルネックとなっています。今、製造現場では「いかに速く、正確に反りを評価するか」が問われています。