オートコリメータに関するコラム

2026.10.06 オートコリメータ 測定方法

角度測定で何がわかる？
オートコリメータによる平面度測定への
活用方法を解説

角度測定というと、対象物の傾きや角度を評価するための手法というイメージを持つ方が多いのではないでしょうか。しかし、高精度な角度測定データは、単に傾きを確認するだけでなく、平面度や平行度、直角度といった幾何公差の評価にも活用できます。
特にレーザオートコリメータは、微小な角度変化を高精度に測定できるため、取得した角度データを活用することで、従来は変位計や三次元測定機で行っていた評価を非接触で実施できる場合があります。
本記事では、レーザオートコリメータによる角度測定データを活用し、平面度を評価する考え方や測定方法について解説します。

【この記事でわかること】
・オートコリメータで取得できるデータ
・角度測定から評価できる幾何公差
・角度測定データから平面度を求める方法
・角度測定を活用した平面度測定のメリット

2026.09.29 オートコリメータ 測定方法

半導体製造装置でウエハ反りを
測定するには？オートコリメータを
斜め方向から設置する方法

半導体製造装置内でウエハの真上にオートコリメータを設置できない場合でも、側面のビューポートなどを利用し、斜め方向からウエハの角度・反りを測定できる可能性があります。
ただし、斜め方向から測定した値は、真上から測定した値とそのまま一致するわけではありません。設置角度などの条件に応じて、測定値を換算する必要があります。
半導体製造装置では、チャンバー上部にガス配管や電極、シャワーヘッドなどが配置され、ウエハの真上にセンサを設置するスペースを確保できないケースがあります。
本記事では、このような狭小スペースを想定し、レーザオートコリメータを斜め方向から設置してウエハ反りを測定する方法と、測定値のズレを補正する考え方、設置時の注意点について解説します。

【この記事でわかること】
・半導体製造装置でオートコリメータを真上に設置できないケースがある理由
・斜め方向からウエハの角度を測定する方法と、そこで生じる測定値のズレの考え方
・斜め設置を検討する際に確認すべき設置スペース・のぞき窓サイズの注意点

2026.09.10 オートコリメータ 測定方法

ビューポート越しのウエハ反り測定とは？
半導体装置でプロセス中に
モニタリングする方法

本記事では、半導体製造装置におけるプロセス中のウエハ反り測定の難しさと、ガラス窓（ビューポート）越しでのレーザオートコリメータ活用によるウエハ反り測定・モニタリング方法について解説いたします。

CVDやPVDなどの成膜装置、アニール装置では、プロセスの進行とともにウエハの反りが変化します。しかし、チャンバー内部は真空・高温などの環境となるため、センサを内部に設置してプロセス中のウエハ反りを測定することは容易ではありません。

そこで活用できるのが、ガラス窓（ビューポート）越しに装置外部から測定する方法です。

本記事では、半導体製造装置におけるプロセス中のウエハ反り測定の課題と、レーザオートコリメータを活用してビューポート越しにウエハ反りを測定・モニタリングする方法について解説します。



【この記事でわかること】

・プロセス中のウエハ反り測定が難しい理由

・ガラス窓（ビューポート）越しにウエハ反りを測定する際の課題

・レーザオートコリメータを活用したウエハ反り測定・モニタリングの方法

2026.08.19 オートコリメータ 測定方法

フォトレジスト塗布工程の回転ブレとは？
膜厚不均一の原因とオートコリメータによる評価方法

半導体製造におけるフォトレジスト塗布工程では、スピンコータの回転精度がレジストの膜厚均一性やパターン形成品質を大きく左右します。近年、デバイスの微細化と高集積化が進む中、わずかな回転ブレや軸振れであっても、レジスト膜厚不均一や工程変動の要因となり、歩留まり低下につながるリスクが高まります。しかし、回転ブレは高速回転中には目視で確認することが難しく、その定量的な評価と原因究明は容易ではありません。

本記事では、フォトレジスト塗布工程で回転ブレが発生する原因や膜厚不均一への影響、レーザオートコリメータを活用して回転ステージの動的な傾きを測定・定量評価する方法について解説します。

2026.07.15 オートコリメータ 測定方法

平面度測定とは？測定方法・測定器の種類とオートコリメータによる高精度測定を解説

平面度測定は、精密機械部品や光学部品、装置ベースなどの平面精度を評価するために欠かせない測定です。一般的にはダイヤルゲージや三次元測定機などが用いられますが、大型ワークや装置に組み込まれた部品では測定が難しい場合があります。

そのような場合に有効なのが、非接触かつ高精度な角度測定が可能なオートコリメータです。オートコリメータを用いることで、対象面の微小な傾きを測定し、平面度や平行度を高精度に評価できます。

本記事では、JISにおける平面度の定義や代表的な平面度測定方法を解説するとともに、レーザオートコリメータによる平面度・平行度測定の原理とメリットをご紹介します。



【この記事でわかること】

・平面度とは何か

・平面度測定の主な方法

・オートコリメータによる平面度測定の原理

・平面度・平行度測定にオートコリメータが適している理由

2026.06.16 オートコリメータ 基礎知識

角度測定器「オートコリメータ」の
長所・短所とは？高精度測定のメリットと
注意点を解説

オートコリメータは、平行光（コリメート光）を利用して角度を高精度に測定できる測定器です。非接触かつ高速に測定できるため、工作機械・半導体・光学部品などの精密測定で広く使用されています。



一方で、測定対象物の反射特性や使用する光源の波長によっては、測定条件に制約が生じる場合もあります。特に乱反射する表面や透明ガラスなどでは注意が必要です。

そのため、オートコリメータを選定する際は、

・測定対象物の材質

・必要な測定精度

・レーザ波長

・ビーム径

を考慮した機種選定が重要になります。



本記事では、オートコリメータの仕組みから、導入メリット・短所・注意点までをわかりやすく解説します。

2026.06.10 オートコリメータ 基礎知識

半導体製造工程におけるウエハ反り測定とは？発生原因とレーザオートコリメータの
活用方法

本記事では半導体製造工程でよく聞く「ウエハの反りとは何か？」「ウエハが反る原因」駿河精機のレーザオートコリメータを使用した「ウエハ反り測定」について解説いたします。

近年の半導体製造において、デバイスの高性能化に伴うウエハの薄化や大口径化、さらにはSiC（炭化ケイ素）やGaN（窒化ガリウム）といった新材料の採用が加速しています。これに伴い、製造工程で生じる「ウエハの反り（Warpage）」は、露光プロセスのフォーカスずれや搬送トラブル、最終的な歩留まり低下を引き起こす深刻なボトルネックとなっています。今、製造現場では「いかに速く、正確に反りを評価するか」が問われています。

2026.05.27 オートコリメータ 基礎知識

レーザオートコリメータの波長選定とは？
赤・青・赤外レーザの違いを解説

レーザオートコリメータでは、測定対象物の反射特性に応じてレーザ波長を選定する必要があります。一般的には赤色レーザ（655nm）が使用されますが、ARコートやIRカットフィルタが施された光学部品では、赤外・青レーザが必要になる場合があります。

そのため、測定対象に応じて赤外・青など異なるレーザ波長を使い分けることが重要です。



本記事では、以下について解説します。

・レーザオートコリメータで波長選定が必要な理由

・赤外・赤・青レーザそれぞれの特徴

・測定対象別の適切なレーザの選び方

・適切な波長に対応したレーザオートコリメータのメリット

2026.05.11 オートコリメータ 測定方法

ダイ浮き・接合不良減少！
高精度な平行度インライン測定の実現

半導体ボンディング工程で発生するダイ浮きや接合不良の主因は、チップと基板間のわずかな平行度ズレです。特にフリップチップボンディングでは、高密度・微細化の進展によりミクロンレベルの傾きが品質に直結し、従来の測定・検査手法では見逃せない課題となっています。 この課題に対する有効なアプローチが、ボンディング工程内でリアルタイムに状態を把握する「平行度測定のインライン化」です。非接触で傾きを高精度に測定し、その場で補正することで、不良の未然防止と安定した接合品質の両立が可能になります。



本記事では、フリップチップボンディングを中心に、ボンディング工程における平行度測定の重要性とインライン測定の必要性、さらにレーザオートコリメータを用いた具体的な測定方法について解説します。品質改善や歩留まり向上を検討している方に向けて、実務に直結するポイントを整理しています。

2025.07.24 オートコリメータ 変位計 測定方法

ラップ盤の上下平行度を測るには？
Smart LACを用いた測定方法を解説

今回は、半導体ウェハの加工工程で使用されるラッピング装置を題材にして、上下定盤の平行出しについてお話しします。


従来の変位計を用いた測定方法とレーザオートコリメータ（LAC）を用いた測定方法を比較し、さらにSmart LACを応用した測定方法で、より簡単に同じ結果を得られる方法をご紹介します。