測定方法に関するコラム
測定方法に関する記事をお届けしています。
2026.03.02
基礎知識
測定方法
レーザ測定器の繰り返し再現性とは？
悪化する原因と改善方法を解説
レーザ測定器の繰り返し再現性は、ワーク（測定対象物）の表面光拡散状態や測定環境に影響され、カタログ値よりも少なからず変化します。概して、悪くなる傾向がありますので、カタログに記載された精度スペックのみで品質検査を設定しますと、合否判定の信頼性が崩れる場合があります。
このコラムでは、レーザ測定器の繰り返し精度についてわかりやすく整理します。
繰り返し再現性（繰り返し精度）の意味
カタログ値どおりに実測精度がでない理由（ワーク依存の落とし穴）
繰り返し再現性を改善するための具体策と事前検証の重要性
「測定精度が出ない原因を切り分けたい」「改善の打ち手を整理したい」等々、お悩みの方々への解決のヒントが満載です、是非最後までご覧ください。
※本記事では「繰り返し再現性」をより厳密に意味合いを絞り、「繰り返し精度」として扱います。
2つの結論：
１．カタログに記載された繰り返し再現性とは、標準サンプルを一定条件で評価した繰り返し精度の保証値であり、現場での測定環境やワークの表面状態の違いにより、当然、σ（標準偏差）が異なることがあります。
２．繰り返し再現性を改善するには、次に挙げる順で検討します。
①受光量の確保
②移動平均 （補正機能）
③照射レーザ径の変更
2025.11.12
変位計
測定方法
変位測定の難点：
傾き角度による誤差とその対策
変位計測を正確に行うためには、測定器の性能だけではなく、それを取り巻く測定誤差の把握が不可欠です。今回のコラムでは、変位測定における機構の運動が原因になる系統誤差と、その解決方法についてのお話です。
2025.07.24
オートコリメータ
変位計
測定方法
ラップ盤の上下平行度を測るには？
Smart LACを用いた測定方法を解説
今回は、半導体ウェハの加工工程で使用されるラッピング装置を題材にして、上下定盤の平行出しについてお話しします。
従来の変位計を用いた測定方法とレーザオートコリメータ（LAC）を用いた測定方法を比較し、さらにSmart LACを応用した測定方法で、より簡単に同じ結果を得られる方法をご紹介します。
2025.06.14
基礎知識
変位計
測定方法
精密測定と測定器の温度特性についての考察
測定誤差は、統計誤差、偶然誤差、そして、過失誤差の３つの種類に分類されます。
では、測定器の温度特性はどの分類に属するのでしょうか？
少々唐突ですが、この「温度特性」の話題は、精密計測の現場でしばしば議論の的となります。本コラムでは、精密測定における環境温度変化の影響とその重要性、そしてその対応について考察していきます。
2025.05.08
変位計
測定方法
レーザ変位計でガラスの厚みを測る
（その2：準備編）
レーザ変位計でガラスの厚みを測るその1では、ガラス（透明体）の厚みを測る際に関連する原理と、レーザ変位計の仕様に依存する正反射角度について触れました。今回は、決められた角度から実際に計測できるかどうかの見極めを行います。
2025.03.21
変位計
測定方法
レーザ変位計でガラスの厚みを測る
（その１：理論編）
「レーザ変位計でガラスの厚みを測る」方法の中でも、拡散反射の受光方式を採用しているレーザ変位計を利用してガラスの厚みを測る方法を解説します。お話が少々長くなりますので、３回に渡りお伝えします。今回は（その１）、ガラスの厚み計測の理論を中心にお話を進めていきます。
2025.02.24
変位計
測定方法
正反射？拡散反射？
どちらのレーザ変位計を選ぶべき？
反射には大きく分けて正反射と拡散反射の2種類のモードがあり、レーザで変位・距離を計測する機器は、どちらかのモードに主対応するよう設計されています。それぞれに相反する利点欠点があるため、どちらのモードの変位計を購入すべきか悩んでいる方々へ選び方を解説します。
2025.02.05
光軸調整
測定方法
光軸調整の方法とは？
測定器の入れ替えをなくし簡略化！
「光軸調整」といっても様々で、レーザ光の調整を例にとると、「コリメート調整」、「ビーム角度調整」、「ビーム位置調整」に細分化されます。これらの調整には非常に精密な調整が必要であり、多くの時間と現場の努力を要します。
近年、レーザ装置の組立調整工程では、従来どおりの測定器を使いこなすだけでは、現場が立ち行かなくなりました。その要因は様々ですが、簡略すると、現場の対応力を超える歩留まり要求が日常化してきたからです。今回は、そのようなブラック業務を画期的に改善する方法を解説します。
2025.01.22
光軸調整
測定方法
ビーム広がりとは？
コリメート光を簡単に計測する方法を解説
コリメート光を作りだすことが、光学系エンジニア実務の1stステップと言えます。
実際、コリメート光を生成するには、非常に精密な光学系の調整が必要であり、多くの時間と労力を要します。しかし、「ビーム広がり角」を算出することで、それらの調整を数値管理できるようになります。
ただし、光学エンジニアの実務の負担が減るわけではなく、細心の注意力と不屈の精神だけでは、業務をこなすのが難しくなってきています。今回は、ビーム広がりをはじめとして、光軸調整について解説します。
2024.12.12
変位計
測定方法