お役立ちコラム

平面度測定は、精密機械部品や光学部品、装置ベースなどの平面精度を評価するために欠かせない測定です。一般的にはダイヤルゲージや三次元測定機などが用いられますが、大型ワークや装置に組み込まれた部品では測定が難しい場合があります。
そのような場合に有効なのが、非接触かつ高精度な角度測定が可能なオートコリメータです。オートコリメータを用いることで、対象面の微小な傾きを測定し、平面度や平行度を高精度に評価できます。
本記事では、JISにおける平面度の定義や代表的な平面度測定方法を解説するとともに、レーザオートコリメータによる平面度・平行度測定の原理とメリットをご紹介します。

【この記事でわかること】
・平面度とは何か
・平面度測定の主な方法
・オートコリメータによる平面度測定の原理
・平面度・平行度測定にオートコリメータが適している理由

半導体の高性能化に伴い、後工程ではTSV加工やレーザダイシングなど、高精度なレーザ微細加工の重要性が高まっています。一方で、レーザ微細加工では、レーザヘッドと加工対象との距離がわずかに変化するだけでも、加工精度や歩留まりに大きな影響を及ぼします。そのため、加工中の距離を高精度かつリアルタイムに測定・制御することが重要です。
本記事では、半導体製造・後工程におけるレーザ微細加工の概要や最新動向を解説するとともに、レーザ微細加工における距離管理の課題と、レーザ変位計を活用した測定方法について紹介します。