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トレンド情報をお届けするコラムです。
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最新コラム
変位測定の難点：
傾き角度による誤差とその対策
変位計
測定方法
変位計測を正確に行うためには、測定器の性能だけではなく、それを取り巻く測定誤差の把握が不可欠です。今回のコラムでは、変位測定における機構の運動が原因になる系統誤差と、その解決方法についてのお話です。
ラップ盤の上下平行度を測るには？
Smart LACを用いた測定方法を解説
オートコリメータ
変位計
測定方法
今回は、半導体ウェハの加工工程で使用されるラッピング装置を題材にして、上下定盤の平行出しについてお話しします。
従来の変位計を用いた測定方法とレーザオートコリメータ（LAC）を用いた測定方法を比較し、さらにSmart LACを応用した測定方法で、より簡単に同じ結果を得られる方法をご紹介します。