測定方法に関するコラム

2026.03.02 基礎知識 測定方法

レーザ測定器の繰り返し再現性とは？
悪化する原因と改善方法を解説

レーザ測定器の繰り返し再現性は、ワーク（測定対象）の材質や表面状態によって大きく変化します。そのため、カタログに記載された繰り返し再現性スペックだけで選定すると、現場で想定以上のばらつきが出ることがあります。

この記事では、レーザ測定器の繰り返し再現性について、レーザ変位計を具体例として 以下をわかりやすく解説します。

• 繰り返し再現性とは何か

• カタログ値と実測値に差が生じる理由

• 繰り返し再現性に影響するワークの特性

• レーザ変位計における繰り返し再現性の改善方法と事前検証のポイント

「カタログ値と実測値が合わない」「繰り返し測定すると値がばらつく」といった課題を抱えている方は、ぜひ参考にしてください。

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✓ 結論（先にここだけ読めばOK）

・レーザ測定器の繰り返し再現性とは、同一条件で測定を繰り返した際の測定値のばらつきを示す指標で、一般に標準偏差（σ）で評価されます。

・カタログに記載された繰り返し再現性は、標準サンプル・標準条件で評価した参考値であり、実ワークでは材質や表面状態の違いによって悪化することがあります。

・レーザ変位計の場合、受光量の確保や移動平均、照射レーザ径の調整などによって、繰り返し再現性を改善できる場合があります。

・高精度な測定が求められる場合は、カタログ値だけで判断せず、導入前に実ワークで繰り返し再現性を確認することが重要です。



※ 本記事のデータは、同一条件下での実測結果に基づいており、一般的な評価傾向を示す参考値です。

2025.11.12 変位計 測定方法

変位測定の難点：
傾き角度による誤差とその対策

変位計測を正確に行うためには、測定器の性能だけではなく、それを取り巻く測定誤差の把握が不可欠です。今回のコラムでは、変位測定における機構の運動が原因になる系統誤差と、その解決方法についてのお話です。

2025.07.24 オートコリメータ 変位計 測定方法

ラップ盤の上下平行度を測るには？
Smart LACを用いた測定方法を解説

今回は、半導体ウェハの加工工程で使用されるラッピング装置を題材にして、上下定盤の平行出しについてお話しします。


従来の変位計を用いた測定方法とレーザオートコリメータ（LAC）を用いた測定方法を比較し、さらにSmart LACを応用した測定方法で、より簡単に同じ結果を得られる方法をご紹介します。

2025.06.14 基礎知識 変位計 測定方法

精密測定と測定器の温度特性についての考察

測定誤差は、統計誤差、偶然誤差、そして、過失誤差の３つの種類に分類されます。
では、測定器の温度特性はどの分類に属するのでしょうか？



少々唐突ですが、この「温度特性」の話題は、精密計測の現場でしばしば議論の的となります。本コラムでは、精密測定における環境温度変化の影響とその重要性、そしてその対応について考察していきます。

2024.07.08 基礎知識 測定方法

直角度とは？
定義や測定方法など基礎知識を解説

直角度とは、ある線や面が基準面に対してどれだけ直角に近いかを示す指標のことです。

ここでは、直角度の定義とその測定方法について詳しく解説していきます。

2024.06.13 基礎知識 測定方法

測定誤差はなぜ生まれる？高精度で測定するための注意点

長さ、角度、重さ…など、あらゆる種類の測定において、どんなに高精度な機器を用いたとしても測定誤差は必ず発生します。

本記事では、測定誤差が生まれる要因とその種類、可能な限り高精度で測定するための注意点などについて解説します。

2024.04.08 測定方法

【事例あり】
製品の再現性低下・ばらつきを防ぐには？
数値管理の重要性を解説

製品の再現性を確保し、ばらつきを防ぐことは、生産管理において重要な観点です。本記事では、数値管理ができていないことによるリスクと、ばらつきを低減するための数値管理ツ―ルをご紹介します。

2024.02.29 オートコリメータ 測定方法

非鏡面の角度測定が難しい！
レーザオートコリメータでの測定方法とは

高精度な角度測定を実現するレーザオートコリメータは、測定対象物が鏡面の場合は測定が容易にできますが、非鏡面の場合は測定に対策が必要です。本記事では、レーザオートコリメータで非鏡面の角度を測定するのが難しい理由から、実際に測定する際の対策を解説します。

2023.11.16 オートコリメータ 基礎知識 測定方法

オートコリメータで真直度を測定する
方法とメリット

真直度測定において革新的な精度を提供するオートコリメータ。真直度の測定が可能な測定器は複数ありますが、オートコリメータでも機械や設備の真直度を正確に測定できます。



本記事ではオートコリメータでの真直度の測定方法やメリットを、実用的な観点から紹介します。

2023.08.31 基礎知識 測定方法

角度測定を高精度に行うには？
測定方法と機器の種類をご紹介

精密な角度測定は機械や機器の製造、ロボット制御など、さまざまな分野で重要な要素です。

しかし、高精度な測定を行うには適切な測定器具の選択が欠かせません。

本記事では、角度測定の方法や種類、高精度に測定するためのヒントを紹介します。