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最新コラム
コリメート光とは？ビーム広がりの
測定方法と調整のポイントを解説
光軸調整
測定方法
コリメート光とは、レーザ光がほぼ平行に進む状態を指し、レーザ加工や光学測定、半導体製造など、高精度な位置決めや測定が求められる場面で利用されています。
コリメート光を生成するには、コリメートレンズなどを用いた精密な光軸調整が必要です。その際、レーザ光がどの程度広がっているかを示す「ビーム広がり角」を測定・数値化することで、調整状態を客観的に評価できます。
一方で、近年はレーザの多様化や要求精度の向上により、従来の経験や勘に頼った調整だけでは対応が難しくなっています。
この記事でわかること
• コリメート光とビーム広がりの関係
• ビーム広がり角の測定方法
• 測定方法ごとの特徴と違い
• 効率的にコリメート光を測定する方法
コリメート光を生成するには、コリメートレンズなどを用いた精密な光軸調整が必要です。その際、レーザ光がどの程度広がっているかを示す「ビーム広がり角」を測定・数値化することで、調整状態を客観的に評価できます。
一方で、近年はレーザの多様化や要求精度の向上により、従来の経験や勘に頼った調整だけでは対応が難しくなっています。
この記事でわかること
• コリメート光とビーム広がりの関係
• ビーム広がり角の測定方法
• 測定方法ごとの特徴と違い
• 効率的にコリメート光を測定する方法
フォトレジスト塗布工程の回転ブレとは？
膜厚不均一の原因とオートコリメータによる評価方法
オートコリメータ
測定方法
半導体製造におけるフォトレジスト塗布工程では、スピンコータの回転精度がレジストの膜厚均一性やパターン形成品質を大きく左右します。近年、デバイスの微細化と高集積化が進む中、わずかな回転ブレや軸振れであっても、レジスト膜厚不均一や工程変動の要因となり、歩留まり低下につながるリスクが高まります。しかし、回転ブレは高速回転中には目視で確認することが難しく、その定量的な評価と原因究明は容易ではありません。
本記事では、フォトレジスト塗布工程で回転ブレが発生する原因や膜厚不均一への影響、レーザオートコリメータを活用して回転ステージの動的な傾きを測定・定量評価する方法について解説します。
本記事では、フォトレジスト塗布工程で回転ブレが発生する原因や膜厚不均一への影響、レーザオートコリメータを活用して回転ステージの動的な傾きを測定・定量評価する方法について解説します。
変位計
測定方法
変位計で振動測定を行うには？
測定方法・注意点・FFT解析まで解説
オートコリメータ
測定方法
平面度測定とは？測定方法・測定器の種類とオートコリメータによる高精度測定を解説
変位計
半導体製造・後工程における
レーザ微細加工とは？
距離管理の課題とレーザ変位計の活用
オートコリメータ
基礎知識
角度測定器「オートコリメータ」の
長所・短所とは？高精度測定のメリットと
注意点を解説
オートコリメータ
基礎知識
半導体製造工程におけるウエハ反り測定とは？発生原因とレーザオートコリメータの
活用方法
オートコリメータ
基礎知識
レーザオートコリメータの波長選定とは？
赤・青・赤外レーザの違いを解説
光軸調整
測定方法
レーザ光の光軸調整とは？
測定器の入れ替えを減らして工程を簡略化する方法を解説
オートコリメータ
測定方法
ダイ浮き・接合不良減少！
高精度な平行度インライン測定の実現
基礎知識
測定方法
レーザ測定器の繰り返し再現性とは？
悪化する原因と改善方法を解説
変位計
測定方法
変位測定の難点：
傾き角度による誤差とその対策
オートコリメータ
変位計
測定方法
ラップ盤の上下平行度を測るには？
Smart LACを用いた測定方法を解説
基礎知識
変位計
測定方法