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最新コラム
角度測定器「オートコリメータ」の
長所・短所とは？高精度測定のメリットと
注意点を解説
オートコリメータ
基礎知識
オートコリメータは、平行光（コリメート光）を利用して角度を高精度に測定できる測定器です。非接触かつ高速に測定できるため、工作機械・半導体・光学部品などの精密測定で広く使用されています。
一方で、測定対象物の反射特性や使用する光源の波長によっては、測定条件に制約が生じる場合もあります。特に乱反射する表面や透明ガラスなどでは注意が必要です。
そのため、オートコリメータを選定する際は、
・測定対象物の材質
・必要な測定精度
・レーザ波長
・ビーム径
を考慮した機種選定が重要になります。
本記事では、オートコリメータの仕組みから、導入メリット・短所・注意点までをわかりやすく解説します。
一方で、測定対象物の反射特性や使用する光源の波長によっては、測定条件に制約が生じる場合もあります。特に乱反射する表面や透明ガラスなどでは注意が必要です。
そのため、オートコリメータを選定する際は、
・測定対象物の材質
・必要な測定精度
・レーザ波長
・ビーム径
を考慮した機種選定が重要になります。
本記事では、オートコリメータの仕組みから、導入メリット・短所・注意点までをわかりやすく解説します。
半導体製造工程におけるウエハ反り測定とは？発生原因とレーザオートコリメータの
活用方法
オートコリメータ
基礎知識
本記事では半導体製造工程でよく聞く「ウエハの反りとは何か？」「ウエハが反る原因」駿河精機のレーザオートコリメータを使用した「ウエハ反り測定」について解説いたします。
近年の半導体製造において、デバイスの高性能化に伴うウエハの薄化や大口径化、さらにはSiC（炭化ケイ素）やGaN（窒化ガリウム）といった新材料の採用が加速しています。これに伴い、製造工程で生じる「ウエハの反り（Warpage）」は、露光プロセスのフォーカスずれや搬送トラブル、最終的な歩留まり低下を引き起こす深刻なボトルネックとなっています。今、製造現場では「いかに速く、正確に反りを評価するか」が問われています。
近年の半導体製造において、デバイスの高性能化に伴うウエハの薄化や大口径化、さらにはSiC（炭化ケイ素）やGaN（窒化ガリウム）といった新材料の採用が加速しています。これに伴い、製造工程で生じる「ウエハの反り（Warpage）」は、露光プロセスのフォーカスずれや搬送トラブル、最終的な歩留まり低下を引き起こす深刻なボトルネックとなっています。今、製造現場では「いかに速く、正確に反りを評価するか」が問われています。
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オートコリメータ
測定方法
非鏡面の角度測定が難しい！
レーザオートコリメータでの測定方法とは
基礎知識
手動で角度測定している方必見！
高精度な角度測定を実現する測定器とは
オートコリメータ
基礎知識
変位計
鏡面と非鏡面における変位計と
レーザオートコリメータの使い分け
オートコリメータ
基礎知識
変位計
角度測定するなら変位計と
レーザオートコリメータどっちが良い？
オートコリメータ
基礎知識
【測定対象物の表面状態別】
レーザオートコリメータの測定事例を解説
オートコリメータ
基礎知識
レーザオートコリメータで
測定可能・不可能な材質とは
基礎知識
自社に合ったセンサを選択するには？
レーザセンサの特長と選び方を解説
オートコリメータ
基礎知識
測定方法
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変位計
変位計とは？仕組みと用途を紹介！
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測定方法