オートコリメータに関するコラム

2026.07.15 オートコリメータ 測定方法

平面度測定とは？測定方法・測定器の種類とオートコリメータによる高精度測定を解説

平面度測定は、精密機械部品や光学部品、装置ベースなどの平面精度を評価するために欠かせない測定です。一般的にはダイヤルゲージや三次元測定機などが用いられますが、大型ワークや装置に組み込まれた部品では測定が難しい場合があります。
そのような場合に有効なのが、非接触かつ高精度な角度測定が可能なオートコリメータです。オートコリメータを用いることで、対象面の微小な傾きを測定し、平面度や平行度を高精度に評価できます。
本記事では、JISにおける平面度の定義や代表的な平面度測定方法を解説するとともに、レーザオートコリメータによる平面度・平行度測定の原理とメリットをご紹介します。

【この記事でわかること】
・平面度とは何か
・平面度測定の主な方法
・オートコリメータによる平面度測定の原理
・平面度・平行度測定にオートコリメータが適している理由

2026.06.16 オートコリメータ 基礎知識

角度測定器「オートコリメータ」の
長所・短所とは？高精度測定のメリットと
注意点を解説

オートコリメータは、平行光（コリメート光）を利用して角度を高精度に測定できる測定器です。非接触かつ高速に測定できるため、工作機械・半導体・光学部品などの精密測定で広く使用されています。

一方で、測定対象物の反射特性や使用する光源の波長によっては、測定条件に制約が生じる場合もあります。特に乱反射する表面や透明ガラスなどでは注意が必要です。
そのため、オートコリメータを選定する際は、
・測定対象物の材質
・必要な測定精度
・レーザ波長
・ビーム径
を考慮した機種選定が重要になります。

本記事では、オートコリメータの仕組みから、導入メリット・短所・注意点までをわかりやすく解説します。

2026.06.10 オートコリメータ 基礎知識

半導体製造工程におけるウエハ反り測定とは？発生原因とレーザオートコリメータの
活用方法

本記事では半導体製造工程でよく聞く「ウエハの反りとは何か？」「ウエハが反る原因」駿河精機のレーザオートコリメータを使用した「ウエハ反り測定」について解説いたします。
近年の半導体製造において、デバイスの高性能化に伴うウエハの薄化や大口径化、さらにはSiC（炭化ケイ素）やGaN（窒化ガリウム）といった新材料の採用が加速しています。これに伴い、製造工程で生じる「ウエハの反り（Warpage）」は、露光プロセスのフォーカスずれや搬送トラブル、最終的な歩留まり低下を引き起こす深刻なボトルネックとなっています。今、製造現場では「いかに速く、正確に反りを評価するか」が問われています。

2026.05.27 オートコリメータ 基礎知識

レーザオートコリメータの波長選定とは？
赤・青・緑・赤外レーザの違いを解説

レーザオートコリメータでは、測定対象物の反射特性に応じてレーザ波長を選定する必要があります。一般的には赤色レーザ（655nm）が使用されますが、ARコートやIRカットフィルタが施された光学部品では、赤外・緑・青レーザが必要になる場合があります。
そのため、測定対象に応じて赤外・緑・青など異なるレーザ波長を使い分けることが重要です。

本記事では、以下について解説します。
・レーザオートコリメータで波長選定が必要な理由
・赤外・赤・緑・青レーザそれぞれの特徴
・測定対象別の適切なレーザの選び方
・適切な波長に対応したレーザオートコリメータのメリット

2026.05.11 オートコリメータ 測定方法

ダイ浮き・接合不良減少！
高精度な平行度インライン測定の実現

半導体ボンディング工程で発生するダイ浮きや接合不良の主因は、チップと基板間のわずかな平行度ズレです。特にフリップチップボンディングでは、高密度・微細化の進展によりミクロンレベルの傾きが品質に直結し、従来の測定・検査手法では見逃せない課題となっています。 この課題に対する有効なアプローチが、ボンディング工程内でリアルタイムに状態を把握する「平行度測定のインライン化」です。非接触で傾きを高精度に測定し、その場で補正することで、不良の未然防止と安定した接合品質の両立が可能になります。

本記事では、フリップチップボンディングを中心に、ボンディング工程における平行度測定の重要性とインライン測定の必要性、さらにレーザオートコリメータを用いた具体的な測定方法について解説します。品質改善や歩留まり向上を検討している方に向けて、実務に直結するポイントを整理しています。

2025.07.24 オートコリメータ 変位計 測定方法

ラップ盤の上下平行度を測るには？
Smart LACを用いた測定方法を解説

今回は、半導体ウェハの加工工程で使用されるラッピング装置を題材にして、上下定盤の平行出しについてお話しします。

従来の変位計を用いた測定方法とレーザオートコリメータ（LAC）を用いた測定方法を比較し、さらにSmart LACを応用した測定方法で、より簡単に同じ結果を得られる方法をご紹介します。

2024.09.25 オートコリメータ 測定方法

角度から平面度を求める方法は？
レーザオートコリメータでの計測例をご紹介

測定対象物の傾き・角度を測るときにはレーザオートコリメータを用いることが一般的です。しかし角度測定以外の用途では、レーザ変位計等の別の測定器に切り替えて、別データとして測定しなければなりません。今回は、レーザ測定器の長所を生かして、対象物の角度データから平面のうねりを考察する一例をご紹介いたします。

2024.02.29 オートコリメータ 測定方法

非鏡面の角度測定が難しい！
レーザオートコリメータでの測定方法とは

高精度な角度測定を実現するレーザオートコリメータは、測定対象物が鏡面の場合は測定が容易にできますが、非鏡面の場合は測定に対策が必要です。本記事では、レーザオートコリメータで非鏡面の角度を測定するのが難しい理由から、実際に測定する際の対策を解説します。

2024.01.31 オートコリメータ 基礎知識 変位計

鏡面と非鏡面における変位計と
レーザオートコリメータの使い分け

角度測定を行う場合、主に変位計かレーザオートコリメータが使用されますが、測定対象物によって各測定器を使い分ける必要があります。本記事では、測定対象物が非鏡面の場合と鏡面の場合に分けて、それぞれの場合での変位計とレーザオートコリメータの使い分けを解説します。

2024.01.10 オートコリメータ 基礎知識 変位計

角度測定するなら変位計と
レーザオートコリメータどっちが良い？

精密な角度測定を行う際の測定機器は、主に変位計とレーザオートコリメータが挙げられます。では変位計とレーザオートコリメータ、どちらで角度測定を行う方が良いのでしょうか。本記事では、変位計とレーザオートコリメータでの角度測定方法を比較して解説します。